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液體顆粒計數器檢測電子級強酸強堿

更新時間:2024-03-28   點擊次數:1582次

1、單酸堿:硫酸、氨水、雙氧水、磷酸、硝酸、鹽酸、冰醋酸、氫氧化鉀、氫氧化鈉等。

2、作用:電子級強酸強堿多應用于半導體制造過程中對零部件的腐蝕和清洗,表面處理中。

3、SEMI等級標準:電子化學品的判定通常采用電子化學品SEMI國際標準等級表

                    電子化學品SEMI國際標準等級表

SEMI等級

IC線寬

金屬雜質

控制粒徑

顆粒(個/mL)

C1

1.2

≤1000(1ppm)

≤1.0

≤25

C7

0.8~1.2

≤10(10ppb)

≤0.5

≤25

C8

0.2~0.6

≤1.0(1ppb)

≤0.5

≤3

C12

0.09~0.2

≤0.1(0.1ppb)

≤0.2



4、判定儀器和液樣:

使用儀器:PMT-2 液體顆粒計數器,防腐型,檢測范圍0.1-1.0um,檢測粒徑0.1、0.2、0.5、1.0um。

液樣:硫酸、氫氧化鈉

5、檢測結論:

看檢測結果里的積分值,看≥0.1的粒子數量,≥0.2的粒子數量,≥0.5的粒子數量。參照數量的個數來判定所測樣品達到那個級別的。

應用:化學品生產商一般在實驗室使用離線取樣檢測的方式。抽取產線上數個液樣,按照批次來進行檢測。反應所生產液樣的工藝是否達標。

6、注意事項:

確保儀器的準確性:在使用前應對儀器進行校準,以確保檢測結果的準確性。
避免交叉污染:清洗容器,避免容器壁上的顆粒進入檢測液樣;在百級清潔環境里進行檢測,避免空氣中的大顆粒進入檢測液樣。





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